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分辨率測試卡

  • 產品型號:RT RC-05B
  • 更新時間:2025-06-30

簡要描述:分辨率測試卡是一款采用半導體光刻技術制作的微型測試卡。它用于校準和監控系統分辨率,確保微焦點或納米焦點X射線檢測系統獲得高質量的結果。

產品詳情
品牌日本JIMA

日本JIMA RT RC-05B分辨率測試卡,JIMA分辨率測試卡詳細介紹:

JIMA RT RC-05B分辨率測試卡是一款采用半導體光刻技術制作的微型分辨率測試卡


RC-05B 分辨率測試卡用于校準和監控系統分辨率,確保微焦點或納米焦點X射線檢測系統獲得高質量的結果。JIMA RT RC-05B支持3微米至50微米(3 µ m50 µ m)的分辨率。這對應于6微米和100微米(6 µ m100 µ m)之間的焦斑尺寸。

分辨率測試卡

16I&T布局,2x2 mm8x8 mm硅基,如上圖

下圖為尺寸為5 μm I&T的圖像

分辨率測試卡

Au Slit的數量為3行和2個空格

寬度310 μmT形布局

寬度1550 μmI形布局L/S寬度

L/S寬度:3456789101520253035404550 μm


 
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